實(shí)際生產(chǎn)中的三坐標(biāo)測量儀一般會(huì)配備一個(gè)精度很高的鑄鐵平臺(tái)作為工作臺(tái)，工作臺(tái)的寬度較窄而長度很長，平臺(tái)上配有導(dǎo)軌，來適應(yīng)工件的來回移動(dòng)。
三坐標(biāo)其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號(hào)之原理，由光電管接收其信號(hào)，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號(hào)情形。
1、量測前準(zhǔn)備： 
（a）檢查空氣軸承壓力是否足夠 
（b）安裝工件 
2、測頭選擇及安裝： 
（a）將適當(dāng)之測頭裝于Z軸承接器 
（b）檢視Z軸是否會(huì)自動(dòng)滑落（否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥） 
（c）鎖定各軸之適當(dāng)位置 
3、量測操作： 
（a）開啟處理機(jī)電源 
（b）啟開打印機(jī)開關(guān) 
（c）參考操作手冊，選擇所需功能之指令 
（d）進(jìn)行量測，并讀出量測值 
4、完成后注意事項(xiàng)： 
（a）Z軸移至原來位置后，鎖定 
（b）X,Y軸各移至zhongyang，鎖定 
（c）關(guān)電源及壓力閥 
（d）取下測頭 
（e）并作適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)
三坐標(biāo)這種的儀器，一般經(jīng)過一年左右的使用就要進(jìn)行定期的維護(hù)和調(diào)整，以便保證檢測的精度。